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1200℃管式爐技術(shù)參數(shù)：
|
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
4KW |
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加熱溫區(qū) |
單溫區(qū) 440mm |
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工作溫度 |
≤1200℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線(xiàn)，可存儲(chǔ)多條 |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ80mm I.D x 1000mm L |
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密封方式 |
不銹鋼真空法蘭 |
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真空測(cè)量 |
機(jī)械式壓力表 |
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工作氣體 |
氫氣、氮?dú)狻鍤?、氧氣等非腐蝕性氣體 |
三路質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)：
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閥門(mén)類(lèi)型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
0~100 SCCM (H2) 0~200 SCCM（Ar） 0~500 SCCM（CH4） |
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流量控制范圍 |
±1.5% |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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供電電源 |
AC220V 50Hz |
