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本產(chǎn)品為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃，能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作，具有便于觀察鍍膜過程，易于清洗的優(yōu)點(diǎn)；配合分子泵組可達(dá)到5x10-4Pa極限真空，能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結(jié)合力。
小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
桌面型石英腔體蒸發(fā)鍍膜儀 |
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產(chǎn)品型號 |
CY-EVZ180-I-H-Q |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
直徑φ60mm |
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轉(zhuǎn)速 |
≦20rpm |
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至蒸發(fā)源間距 |
60～100mm 連續(xù)可調(diào) |
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熱蒸發(fā)源 |
有機(jī)蒸發(fā)源（石英舟和鎢絲發(fā)熱源） |
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蒸發(fā)電源 |
每個蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ180mm，高度200mm |
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觀察窗口 |
直徑φ60mm |
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腔體材質(zhì) |
高純石英 |
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開啟方式 |
上開啟式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
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次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
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真空測量 |
復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) |
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系統(tǒng)真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制器 |
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其他參數(shù) |
供電電源 |
AC220V,50Hz |
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整機(jī)尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整機(jī)功率 |
1200W |
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整機(jī)重量 |
40kg |
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