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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CY-PLZ180-I-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
本型號(hào)等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)，本設(shè)備配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，用戶可以在觸控屏上實(shí)現(xiàn)一鍵換位，樣品臺(tái)可在兩個(gè)靶位自由切換，本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強(qiáng)大，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
詳情介紹：
本型號(hào)換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，用戶可以在觸控屏上實(shí)現(xiàn)一鍵換位，樣品臺(tái)可在兩個(gè)靶位自由切換，到位后樣品臺(tái)還可進(jìn)行自轉(zhuǎn)，以增強(qiáng)鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以提高鍍膜的精準(zhǔn)度。

本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強(qiáng)大，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。

換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：


產(chǎn)品名稱

換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PLZ180-I-DC-Q

樣品臺(tái)

尺寸

60mm

到靶面距離

可在兩個(gè)靶位間自動(dòng)切換

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸x1

冷卻方式

自然冷卻    

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 150mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進(jìn)氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m3/h）

極限真空度

≥1Pa

真空測(cè)量

電阻真空規(guī)

其他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機(jī)功率

1.5KW/2KW（旋轉(zhuǎn)加熱）

整機(jī)尺寸

570mm X 450mm X450mm

整機(jī)重量

30kg


 

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)