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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CY-EVS180S-HV
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-3Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
詳情介紹：

等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍：

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。


等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

供電電壓

AC220V，60Hz

*大功率

1200W

樣品臺(tái)

直徑φ65mm；

與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm

真空腔體

材質(zhì)：304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

*高溫度

1700℃

熱電偶

B型熱電偶

真空計(jì)

電子式真空計(jì)

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵：浦發(fā)MVP030 無油泵   抽速30L/min

次級(jí)泵：萊寶TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口

KF40

進(jìn)氣接口

1/4卡套接頭

整機(jī)尺寸

500x350x400mm





豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)